Laboratuvar Altyapısı

-A +A

VAKUM LABORATUVARI

Vakum laboratuvarında birincil seviye ölçümler “Çok Aşamalı Statik Genleşme Sistemi (Multi-Stage Static Expansion System-MSSE1)” kullanılarak gerçekleştirilmektedir. Sistemin basınç çalışma aralığı 9 x 10-4 Pa - 103 Pa, bağıl genişletilmiş belirsizlik 2,1 x 10-3 – 9,5 x 10-4 olarak belirlenmiştir.

Endüstrinin ihtiyaç duyduğu vakum kalibrasyonları ise “Vakum Ölçer Metroloji Sistemi (Vacuum Gauge Metrology System-VGMS)” kullanılarak gerçekleştirilmektedir. 1 x 10 -4 Pa -1,33 x 105  Pa çalışma aralığında gerçekleştirilen kalibrasyonlar için bağıl belirsizlik aralığı 8,3 x 10-2 Pa -7,9 x 10-3 Pa olarak verilir.

Kalibrasyonu gerçekleştirilen vakum ölçer tipleri aşağıda verilmiştir:

  • Pirani ve Isılçift vakum ölçerler,
  • Kapasitans diyafram tip (CDG) manometreler,
  • Sıcak ve soğuk katot iyonizasyon vakum ölçerler,
  • Döner rotorlu tip (SRG) vakum ölçerler.

Laboratuvarımız vakum ölçümlerinde aşağıda verilen kapsamlarda TÜRKAK tarafından 2005 yılında akredite edilmiştir.

                                                                                                                                                                                              

Ölçüm Büyüklüğü ve

Kalibre Edilen Cihazlar

Ölçüm Aralığı

Kalibrasyon ve Ölçüm Yeteneği

(Genişletilmiş Ölçüm Belirsizliği (k=2) , 
p (Pascal)

Mutlak basınç / Pa / Pirani, Isılçift ve Isıl iletkenlik tipi vakum ölçerler

1 x 10-2 Pa - 1,3 x 105 Pa

4,1 x 10-2 x p - 7,0 x 10-3 x p

Mutlak basınç / Pa / Kapasitans manometre (CDG)

1 x 10-2 Pa - 1,3 x 105 Pa

2,4 x 10-2 x p – 7,9 x 10-3 x p

Mutlak basınç / Pa / Soğuk Katot ve Sıcak Katot Tip Vakum Ölçerler

1 x 10-4 Pa - 1 x 10-1 Pa

1,1 x 10-1 x p - 3,0 x 10-2 x p

Mutlak basınç / Pa / Döner Rotorlu Tip Vakum Ölçer

1 x 10-4 Pa - 1 x 10-1 Pa

8,3 x 10-2 x p - 2,4 x 10-2 x p

Akreditasyon Kapsam Değerleri

 

RGA (Residual Gas Analyzer) çeşitlerinden biri olan Kuadrupol Kütle Spektrometre (QMS-Quadrupole Mass Spectrometer), çelik işleme, ilaç üretimi, gaz karışım ve saf gaz dolumu, nükleer yakıt üretimi gibi endüstriyel alanların yanı sıra, parçacık hızlandırıcıları, yüksek vakum deneyleri gibi bilimsel çalışmalarda da yaygın olarak kullanılmaktadır. Kısmi gaz basıncı ölçümleri, vakum hacimlerinde gaz saflığının belirlenmesi ve vakum şartlarının gözlemlenmesi, salınım oranı (outgassing rate) belirleme, süreç işleme ve kontrolü bazı kullanım amaçları olarak gösterilebilir. UME Vakum Laboratuvarı, Avrupa Metroloji Araştırma Projesi EMRP IND12 “Endüstriyel Uygulamalar için Vakum Metrolojisi” kapsamında QMS ölçümlerine 1-200 amu aralığında N2, Ar, He ve CO2 gazları kullanılarak devam etmektedir

Avrupa Metroloji Araştırma Projesi EMRP IND12 “Endüstriyel Uygulamalar için Vakum Metrolojisi” kapsamında MSLD (Mass Spectrometer Leak Detector) karakterizasyon çalışmaları yapılmaktadır. Laboratuvar bünyesinde Helyum sızıntı standartları oluşturulmuştur. 10-7mbar·l/s - 10-2 mbar·l/s sızıntı oranı aralığında Helyum sızıntı standartları kalibrasyonları ve Helyum sızıntı detektörü karakterizasyonlarına yakın zamanda başlanacaktır.