Bu projede temassız optik ölçüm yöntemlerinden polarisazyon durum analizi ölçme prensibi üzerinde dayalı elipsometri/skaterometri ölçüm yöntemlerinin kullanılacağı boyutsal nanometrolojisi alanında referenasların, numunelerin ve malzemelerin karakterizasyonunun yapılmasına olanak sağlayacak bir ölçme altyapısının kurulması amaçlanmaktadır.
(Tamamlandı)