Referans standartların izlenebilirliğinin sağlandığı birincil seviye vakum ölçümleri, ulusal vakum standardı "Çok Aşamalı Statik Genleşme Sistemi (Multi-Stage Static Expansion System-MSSE1)" üzerinden gerçekleştirilmektedir (Şekil 1). Sistemin çalışma aralığı 9 x 10-4 Pa - 103 Pa, bağıl genişletilmiş belirsizlik 2,1 x 10-3 – 9,5 x 10-4 olarak belirlenmiştir.
Şekil 1: Çok Aşamalı Statik Genleşme Sistemi (MSSE1)
Endüstrinin ihtiyaç duyduğu vakum ölçer kalibrasyonları ise "Vakum Ölçer Metroloji Sistemi (Vacuum Gauge Metrology System-VGMS)" üzerinden gerçekleştirilmektedir (Şekil 2). 1 x 10 -4 Pa -1,33 x 105 Pa çalışma aralığında gerçekleştirilen kalibrasyonlar için bağıl belirsizlik aralığı 8,3 x 10-2 Pa -7,9 x 10-3 Pa’dır.
Şekil 2: Vakum Ölçer Kalibrasyon Sistemi (VGMS)
Laboratuvar, EMRP IND12 "Vacuum metrology for production enviroments" Avrupa metroloji araştırma projesi kapsamında, helyum sızıntı standartları ve MSLD (Mass Spectrometer Leak Detector) kararlılık ölçümleri, RGA (Residual Gas Analyzer) çeşitlerinden biri olan kuadrupol kütle spektrometresi (QMS)’nin zamana bağlı kararlılık ölçümleri ve cihaz kullanım parametrelerinin cihaz hassasiyeti üzerindeki etkilerinin incelenmesi konuları üzerinde çalışmalarını yürütmüştür. Vakum hacimlerinde gaz saflığının belirlenmesi ve vakum şartlarının gözlemlenmesi amacıyla kullanılan kuadrupol kütle spektrometresi kararlılık çalışmaları, dinamik vakum sistemi üzerinde gerçekleştirilmiştir (Şekil 3).
Şekil 3: Dinamik Vakum Sistemi
Gaz akış oranlarını belirlemek amacıyla helyum sızıntı standartlarının kalibrasyonları, referans sızıntı standartları ve ticari helyum sızıntı dedektörü kullanılarak karşılaştırma yöntemi ile gerçekleştirilmektedir (Şekil 4).
Şekil 4: Helyum Sızıntı Standartları Kalibrasyon Düzeneği
Birincil seviyede vakumda gaz akış oranı belirleme ölçümleri için, düşük gaz akışlarında (hedeflenen çalışma aralığı 4 x 10-12 mol/s – 4 x 10-7 mol/s) sabit basınç gaz akış sistemi (CPFM) kurulum, performans analiz ve karakterizasyon çalışmaları devam etmektedir.
Kalibrasyon ölçüm kaabiliyeti:
- Pirani, ısıl iletkenlik ve ısılçift tip vakum ölçerler,
- Kapasitans diyafram (CDG) manometreler,
- Sıcak ve soğuk katot iyonizasyon vakum ölçerler,
- Döner rotorlu tip (SRG) vakum ölçerler,
- İkili vakum ölçerler (full range)
- Geçirgen tip helyum sızıntı standardı (vakumda)
Laboratuvarımız vakum ölçümlerinde aşağıda verilen kapsamlarda TÜRKAK tarafından 2005 yılında akredite edilmiştir.
|
Ölçüm Büyüklüğü ve Kalibre Edilen Cihazlar |
Ölçüm Aralığı |
Kalibrasyon ve Ölçüm Yeteneği (Genişletilmiş Ölçüm Belirsizliği (k=2) , |
|
Mutlak basınç / Pa / Pirani, Isıl iletkenlik ve Isılçift tip vakum ölçerler |
1 x 10-1 Pa - 1 x 105 Pa |
4,1 x 10-2 x p -2,0 x 10-2 x p |
|
Mutlak basınç / Pa / Kapasitans diyafram manometre (CDG) |
1 x 10-1 Pa - 1 x 105 Pa |
3,5 x 10-2 x p – 7,9 x 10-3 x p |
|
Mutlak basınç / Pa / Sıcak ve Soğuk Katot İyonizasyon Vakum Ölçerler |
1 x 10-4 Pa - 1 x 10-1 Pa |
1,1 x 10-1 x p - 4,0 x 10-2 x p |
|
Mutlak basınç / Pa / Döner Rotorlu Tip (SRG) Vakum Ölçerler |
1 x 10-4 Pa - 1 x 10-1 Pa |
9,0 x 10-2 x p - 3,5 x 10-2 x p |
Akreditasyon Kapsam Değerleri