Işığın dalga özelliğinin kullanıldığı, kendi dalgaboyu ile orantılı periyodik olarak yapılandırılmış yüzeylerde diyebileceğimiz optik ızgaralardan yansıması ve kırınımı özelliğini kullanarak metre uzunluk standardının nanometre skalasında transfer standardı olarak nanoteknolojide kullanılan cihazların metrolojik izlenebilirlik zincirine bağlanması mümkündür. Bu sayede; taramalı prob mikroskopları, optik mikroskoplar, skaterometre sistemleri gibi nanoteknoloji de artık sıklıkla kullanılan cihazların doğruluğunu ve ölçüm birliği sağlanabilir.
Optik kırınım prensibini kullanan lazer difraktometre sistemi bu amaçla kullanılan optik ızgaraların kalibrasyonu ve dolayısı ile metrolojik izlenebilirlik içinde yer almasını sağlamaktadır. (Tamamlandı)